微機電系統(tǒng)工程專業(yè)課程:
微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學、微納米測量與測試技術、微細加工技術、現(xiàn)代傳感技術、精密工程制造基礎和光存儲技術等。
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